溫濕度對無塵車間的影響有如下幾種：
1、細菌生長;2、人員的舒適感; 3、出現靜電荷;4、金屬腐蝕; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化;7、吸水性。凈化車間溫度作為總的原則看，加工精度越來越精細，對溫度波動范圍的要求越來越小。所以無塵車間的溫濕度控制由其生產工藝決定，但其精度同時也要看其房間的大小例如計量室、光柵刻線室、精密儀器制造和裝配車間等。前兩者都為小房間，空調精度(這里主要指溫濕度)要求高；后兩者為較大的生產車間，溫濕精度要求較低。所以其房間大小也會決定恒溫恒濕車間的精度。
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